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Idea Eliminando burbujas en la pelicula de SU8 

Forum: SU-8 Photoresist Discussion Forum
Re: Question Thickness problem and divots after SU-8 spin coating
Date: 2008, Feb 11
From: LuisEnrique

En el momento de depositar el SU8, si lo haces con un gotero ten cuidado de que no entren burbujas de aire. Durante el Prebeake disminuir la temperatura a 50 grados..esto hara con que el solvente sea retirado de forma mas continua por tanto no explote en la superficie y forme burbujas. depositar el SU8 directo desde algun tipo de recipiente "botellita" sin usar goteros o alguna cosa parecida.

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